表裏座標・表裏撮影・形状測定の表裏ミクロ計測　インライン計測への組込に最適なモジュール型表裏マイクロスコープ　バイオの倒立顕微鏡と正立顕微鏡が合体した正倒立スーパーマイクロスコープのTOMOSシリーズ
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TOMOSシリーズ［表裏ミクロ計測システム］

用途に合わせた表裏ミクロ計測システムをTOMOSシリーズとしてご案内いたします。


表裏ミクロ測定システム
TOMOS 50S

水晶振動子、MEMS、半導体等の電子部品の
表裏を同時に撮影、±1μmの精度で測定。
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表裏3次元測定システム
TOMOS 100H

表裏顕微鏡で射影パターン照明により
MEMS等の電子部品の段差や厚みを精密に測定。
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ズーム変倍機能付き
TOMOS 300Z

表裏ズーム顕微鏡にて試料サイズに合わせて
自由自在な観察機能。
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